KARAKTERISOINTI

Optiset mittalaitteet:

• UV-vis-NIR Varian Cary 500 spektrofotometri
• UVISEL-VASE Horiba Jobin-Yvon ellipsometri

Raman-spektroskopia:

• Horiba Jobin-Yvon LabRAM HR800 UV-vis μ-Raman

Elektronimikroskoopit:

• LEO 912 OMEGA energiasuodatusläpäisyelektronimikroskooppi (EFTEM)
• Zeiss ULTRA plus kenttäemissiopyyhkäisyelektronimikroskooppi (FESEM)
• Zeiss Sigma kenttäemissiopyyhkäisyelektronimikroskooppi (FESEM)
• Jeol JXA-8200 röntgenmikroanalysaattori (EPMA)
• FEI Helios DualBeam FIB+FESEM+STEM+EDS

Röntgentutkimuslaitteet:

• Siemens D5000 röntgendiffraktometri (XRD)
• Bruker AXS S4 Pioneer röntgenfluoresenssispektrometri (XRF)

Pinta-analyysi:

• Thermo Fisher Scientific ESCALAB 250Xi röntgenfotoelektronispektroskopialaitteisto (XPS)

Muut:

• Nikon Eclipse ME600 valomikroskooppi
• Zeiss LM 100 valomikroskooppi
• Dektak 8 pintaprofilometri

LASERIT

• Siemens Microbeam 3200
• New Wave Ezlaze 3
• New Wave QuickLaze Trilite
• Spectra-Physics Model 171 Ar+ laser

FOTOLITOGRAFIA

• Suss RC8 spinneri
• Primus STT 15 spinneri
• Suss MA8 valotin
• Terra Universal märkäpenkki
• Semitool PSC-101 kiekkopesuri

FOTOLITOGRAFIAMASKIEN VALMISTUS

• Micronic LRS-55 maskinvalotuslaite
• MIVA 2832 fotoplotteri

OHUTKALVOJEN VALMISTUS

• Torr International PVD tyhjiöhöyrystin
• Oxford Instruments Plasmalab 80 Plus PECVD+ICP-DRIE

PAKKAUSTEKNIIKKA

• Kulicke & Soffa 4523 bonderi
• Kulicke & Soffa 984-6 kiekkosaha
• Nisene JetEtch II dekapsulaattori
• LPS-2000 integroitujen piirien korjauslaitteisto
• Finetech Electronics FINEPLACER Pico 145 palloliitoskone

PUOLIJOHDEPIIRIEN TESTAUS

• Tokyo Electron P-8XL kiekkotesteri
• Cascade Microtech REL-6100 probe-asema

IONISUIHKUTYÖSTÖ (FIB)

• FEI Helios DualBeam FIB+FESEM+STEM+EDS

SYÖVYTYS

• Oxford Instruments ICP-DRIE plasmasyövytyslaitteisto
• Modutek märkäpenkki

MUUT

• AMI MPS-9155 paksukalvopainokone
• AG Associates Heatpulse 610 RTA-uuni
• FED 1500XL dispenseri
• Plas Labs Nanobox 890 hansikaskaappi
• AIXTRON Nanoinstruments BM II hiilinanoputkireaktori