Yliopiston laitoksille

MNT-keskuksen laitteet ja puhdastilat ovat kaikkien Oulun yliopiston laitosten käytössä. Laitekantaa pyritään täydentämään jatkuvasti painopisteen ollessa hankinnoissa, jotka palvelevat mahdollisimman laajasti eri alojen tutkimusta.

Yrityksille

Yliopiston sisäisen tutkimuspalvelun lisäksi MNT-keskuksessa tehdään myös tutkimusta yliopiston ulkopuolisille tahoille. Yrityksillä on mahdollisuus käyttää keskuksen puhdastiloja ja analyysilaitteista ja suorittaa omaa T&K työtään keskuksen tarjoamassa tutkimusympäristössä. MNT-keskuksen toiminnan eräs keskeinen tarkoitus onkin auttaa elinkeinoelämää mikro- ja nanoteknologian käyttöönotossa, sekä uusien tuoteaihioiden kehittämisessä. Yritysten tilaustutkimuksessa syntyvät tiedot käsitellään aina luottamuksellisesti. Tarvittaessa voidaan laatia myös yliopiston ja palvelun tilaajan välinen salassapitosopimus.

Esimerkkejä yrityksille tarjottavista palveluista

• Eri materiaalien laserleikkausta Siemens Microbeam 3200 laserilla.
• Mikropiirien korjauspalvelua FEI Helios Dualbeam ionisuihkutyöstölaitteistolla (FIB). Kyseisestä toiminnasta keskuksen henkilökunnalla on yli 15 vuoden kokemus ja keskus on ainoa kyseisen palvelun tarjoaja koko Suomessa.
• IC-piirien testaus täysautomaattisella Tokyo Electronics P-8XL kiekkotesterillä.
• Fotolitografiamaskien valmistus.
• Täydellinen paksukalvoprosessointilaitteisto, joka pohjautuu pääosin tiloihin asennettuihin Mikroelektroniikan ja materiaalifysiikan laboratorioiden laitteisiin. Laitteistoa voidaan käyttää esimerkiksi protosarjojen valmistukseen.
• Optisten komponenttien valmistaminen PECVD- ja RIE-tekniikoilla.
• Ohutkalvojen ominaisuuksien määrittäminen ellipsometrilla.
• Kiinteiden ja nestemäisten näytteiden Raman-mittaukset.
• Materiaalien lämpökäsittely RTA-uunilla.
• Näytteiden kuvausta ja analysointia elektronimikroskoopeilla
• Kiteisten faasien analysointia röntgendiffraktiolla
• Erilaisten materiaalien alkuainemäärityksiä