Laitteet

MNT-keskuksen laitteet voidaan karkeasti jakaa valmistus- ja karakterisointilaitteisiin. Käytössä oleva laitekanta mahdollistaa erilaisten mikro- ja nanorakenteiden valmistamisen, materiaalitutkimuksen ja valmistusprosessien kehittämisen. Puhdastiloihin on asennettu mm. täydellinen fotolitografiaprosessi, johon kuuluu myös litografiamaskien valmistamiseen tarvittava laitteisto.

Karakterisointiin tarkoitetut laitteet mahdollistavat tuotettujen mikro- ja nanorakenteiden sekä materiaalien optisten ja rakenteellisten ominaisuuksien mittaamisen. Teknologiasovellusten lisäksi valtaosa käytössä olevista laitteista soveltuu myös muiden tieteenalojen, kuten biotieteet, perustutkimukseen. MNT-keskuksen laitevalikoimaan kuuluu mm. useita pyyhkäisyelektronimikroskooppeja (SEM), läpäisyelektronimikroskooppi (TEM), röntgenmikroanalysaattori (EPMA), röntgendiffraktometri (XRD) sekä röntgenfluoresenssispektrometri (XRF). Laitteiden avulla voidaan suorittaa monipuolisesti näytteiden kuvausta, mikrorakenteiden määrityksiä sekä alkuaineanalyysejä. Keskuksella on käytössään myös monipuoliset välineet näytteiden valmistukseen kaikille käytössä oleville analyysilaitteille.

MNT-keskuksen kanssa samassa rakennuksessa toimivassa Mikroelektroniikan ja materiaalifysiikan laboratorioiden laitevalikoimasta löytyy paljon materiaalitutkimukseen soveltuvia tutkimuslaitteita, kuten esimerkiksi monipuolisilla ominaisuuksilla varustettu atomivoimamikroskooppi (SPM) Veeco Nanoscope IV. Laitteiden käyttöä koskevissa kysymyksissä tulee ottaa yhteyttä kyseisen laboratorion henkilökuntaan.

Laitteiden lisäksi MNT-keskuksen käytössä on laaja valikoima eri alojen suunnittelu- ja mallinnusohjelmistoja, kuten AutoCAD sekä fysiikkamallinnusohjelmisto COMSOL.

8.1.2013

Muut