Puhdastilat

Mikro- ja nanotekniikkaan perustuvien komponenttien valmistus edellyttää normaalia huoneilmaa puhtaampaa ympäristöä, jossa ilmassa leijuvat pienet epäpuhtauspartikkelit poistetaan tehokkaiden HEPA-suodattimien ja ilmanvaihdon avulla. Puhdastilojen ilmankosteus ja lämpötila pidetään stabiileina. Tiloissa työskentelevät suojattaan erityisellä vaatetuksella, joka estää tilojen likaantumisen ihmisistä irtoavien epäpuhtauksien vaikutuksesta.

Oulun yliopiston MNT-keskuksen puhdastila on kooltaan 550 neliömetriä, joka on jaettu eri puhtausluokkiin niissä tehtävän työn mukaisesti. Tilat kattavat puhdastilojen ISO-standardin mukaiset luokat ISO5-ISO7. Keskuksella on lisäksi käytössä hansikaskaappi, johon on mahdollista luoda erilaisia atmosfäärejä mm. happi tai kosteusherkille kemiallisille prosesseille. Alla olevasta pohjapiirroksessa on esitetty eri huoneiden puhtausluokitukset.

Keskuksen puhdastiloissa on kaksi kemianlaboratoriota, jotka on varustettu vetokaapein. Litografiatilojen lisäksi molemmat kemian laboratoriot on varustettu keltaisin suojavaloin ja ikkunoin, jotta UV-valolle herkkien kemikaalien käsittelemisen olisi mahdollista.

Puhdastiloissa on käytössä ultrapuhdas vesi, typpikaasu ja paineilma. Ultrapuhdas vesi tuotetaan omassa käänteisosmoosiin ja ioninvaihtoon perustuvassa puhdistuslaitoksessa. Veden resistiivisyys puhdistuksen jälkeen on 1018 Ωcm.

Viimeksi päivitetty: 7.5.2018